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洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定

洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

电子净化车间装修的注意事项

电子净化车间装修的注意事项：工厂装修物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室。空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施。

洁净室建筑装饰的重要性

洁净室建筑装饰的重要性主要表现在以下两个方面：（1） 对综合性能的影响：洁净室要求材料不产尘，结构不积尘，密封严密不透尘。所以洁净室的装饰会直接洁净效果。（2） 对于造价的影响到：洁净室与一般办公楼相比，是高造价的建筑物。双层地面：是典型的垂直单向流洁净室的地面。总特点是：可以地面回风，透气性好，造价高，弹性差。水磨石地面。总特点是：光滑，不易起尘，整体性好，可冲洗，防静电，无弹性。

生物洁净室使用注意事项

洁净室使用的木材的含水率不应大于16%，并且不得外露使用。由于洁净室换气次数大，相对湿度低，如大量使用木材，易干裂、变形、松动、产生灰尘等，即使用也要局部使用，并且一定要做好防腐防潮处理。一般洁净室需用石膏板时必须用防水石膏板，而对于生物洁净室由于经常用水擦洗和用消毒液冲洗，即使防水石膏板也要受潮变形，不耐冲洗，所以规定生物洁净室不应采用石膏板作罩面材料。