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净化车间系统的检测标准

不只是空调系统,净化车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测标准：1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。2、系统或房间的风量检测。3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

光电车间净化工程是指不同级别

光电车间净化工程是指不同级别电子厂净化车间或电子实验室的半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、模具等工程。 光学微电子净化工程 又称清净室或无尘室，目前已是精密制造、半导体、光学制造、液晶制造、线路板制造和、生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，因技术的创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化的需求越发迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为***在科技发展上极为重视的项目。 按行业标准要求，净化级别从 10-30 万级。净化的程度也直接影响了电子产品制作的质量。