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室内面积达24m2,其工作洁净度达1000级

室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,极大提高了水质纯度,其输出水质电阻率≥15MΩ。在工作人员健康保障方面,超净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了独立的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统保障了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了保障。

净化车间工程是指控制产品所接触大气的洁净度及温湿度

净化车间工程是指控制产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。气流 -> 初效空气处理 -> 空气调节 -> 中效空气处理 -> 风机加压送风 -> 净化送风管道 -> 送风口 -> 洁净室 -> 带走尘埃（细菌） -> 回风夹道 -> 新风、初效空气处理。净化车间工程是一个系统性、综合性强、技术含量高的工程，简单想一下，安装空调都需要具备上岗资质，而无尘室所要实现的可比单纯安装空调要求的多；不但要求合适的温湿度，还要合适的压差、光照度、噪声度，更重要的是有合适的洁净度。

厂净化车间的间隔装置好后就要安装吊顶了，这个不容忽视。吊顶上会装置设备，例如过滤器、净化灯、空调等。吊件螺丝、板材间隔都要依照规定。合理布局，避免后期有不必要的麻烦。净化行业主要的设备有：过滤器、净化灯、风口、风淋室、空调等等。设备一般较慢，需时间来制做喷漆。签订装修合同后，要注意设备的进场时间。这一步之后，车间装置基本完成，下一步就是地面工程了。