天津芯片厂净化车间承诺守信 天津华一净化工程

半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

智能平台:洁净系统中的风量控制

智能平台：洁净系统中的风量控制采用文丘里阀门，实时监控流量及状态，可在线诊断。并可以维持房间压力、温度、湿度的平稳可靠。中控室中把空调、特气、纯水、监控、房间温湿度等参数集成管理、显示、储存，并对数据进行打印输出及溯源查找。并经设备输出在参观通道播放，方便参观。弱电系统工程：高清视频监控系统空调动力电工程：统计总用电量约830KW，空调用电约330KW。动力（镀锌线槽）沿墙体及天花敷设，再分至车间及设备电箱，安装在楼板下。主电缆采用YJV型号。

人和物是洁净室的主要尘源

人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。而且根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。洁净室就是这样一个地方，由于生产的东西不一样，所以对洁净室的设计要求是不一样的。洁净室不仅能够提供清洁，还需要保持清洁，可以将很多的颗粒排除在室外。

洁净区内各洁净室的门,考虑到维持室内压力状况的需要

洁净区内各洁净室的门，考虑到维持室内压力状况的需要，其开设方向要朝向压力大的房间，因为要靠压力把门压紧，这显然和安全疏散的要求相反。为了考虑平时洁净和紧急疏散时的两方面要求，规定洁净区和非洁净区之间的门、洁净区与室外的门作为安全疏散门对待，其开启方向一律朝向疏散方向，当然，单设的安全门也是如此。洁净室的建筑装饰工程主要是指除主体结构和外门外窗之外的包括地面与楼面装饰工程。